目前废水的处理普遍采用生物方法，但是很多高稳定性、难降解的污染物用生物处理法难以去除，因此，运用更有效的非生物技术-臭氧氧化技术处理上述污染物是至关重要的。近十年来，臭氧氧化技术不再是单一地应用于废水处理，单一的臭氧氧化技术局限诸多，一是臭氧无法氧化诸如氯仿类的难降解有机物;二是单一的臭氧氧化技术无法将难降解大分子有机物完全氧化成小分子的二氧化碳和水。因此，许多国内外学者研究了臭氧联用工艺。除此之外，催化臭氧氧化工艺陆续应用于硝基苯、渗滤液等处理中。

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