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高级氧化技术又称深度氧化技术，其基础在于运用电、光辐照、催化剂，有时还与氧化剂结 合，在反应中产生活性极强的自由基(如HO?)，再通过自由基与有机化合物之间的加合、取代、 电子转移、断键等，使废气中的大分子难降解有机物氧化降解成低毒或无毒的小分子物质，甚至 直接降解成为CO2和H2O，接近完全矿化。目前的高级氧化技术主要包括化学氧化法、电化学氧 化法、湿式氧化法、超临界水氧化法和光催化氧化法等。
氧离子能氧化废气中许多有机物。氧离子氧化通常不作为一个单独的处理单元，通常会加入 一些强化手段，如光催化氧化、碱催化氧化和多相催化氧化等。此外，氧离子氧化与其他技术联 用也是研究的重点， 如氧离子/超声波法、氧离子/活性炭吸附法等。
